Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken
Ermittlung von Poliertuchdicken und -abtrag im CMP-Prozess durch Lasertriangulation
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Erschienen: 08.08.2012
Umfang: 96 S.
Sprache: Deutsch
Einband: KT
Format: 0.7 x 22 x 15 cm
ISBN/EAN: 9783639409543
Umbreit-Nr.: 3948043
