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Mikroelektronik 2
Herstellungsprozesse für integrierte Schaltungen
ISBN/EAN: 9783802315886
Umbreit-Nr.: 279921
Sprache:
Deutsch
Umfang: 358 S.
Format in cm: 2 x 22.5 x 16
Einband:
kartoniertes Buch
Erschienen am 31.12.1998
Auflage: 1/1998
- Zusatztext
- Die Verfahren und Techniken der Siliziumtechnologie für mikroelektronische Anwendungen werden vorgestellt. Ausgehend von einkristallinen Siliziumwafern bis zur Verkapselung in Plastikgehäusen werden die einzelnen Prozeßschritte zur Herstellung von CMOS- und Bipolar-ICs behandelt. Der Band deckt in praxisgerechter Tiefe ab, was Studenten an Fachhochschulen und Universitäten sowie Materialwissenschaftler und Techniker in der industriellen Praxis über Möglichkeiten und Limitierungen der IC-Technologie wissen sollten.